毛細管傳感器

     與(yu) MEMS傳(chuan) 感器一樣，毛細管傳(chuan) 感器也是采用層流元件來產(chan) 生壓差，使小部分流量進入旁路管道。而主要區別在於(yu) ：毛細管傳(chuan) 感器不與(yu) 介質直接接觸。兩(liang) 個(ge) 溫度相關(guan) 的電阻纏繞在不鏽鋼毛細管上，構成半個(ge) 惠斯頓電橋。當氣體(ti) 流過毛細管時，就會(hui) 帶走一部分熱量，流向為(wei) 從(cong) R₁ 至R₂.這時，R₁ 的阻值下降，而R₂的阻值 上升。如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與(yu) 這兩(liang) 個(ge) 電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與(yu) 流過的氣體(ti) 的質量流量成線性關(guan) 係。其線性關(guan) 係甚至使該傳(chuan) 感器可用於(yu) 未經標定的氣體(ti) ；通過采用一個(ge) 轉換因子當前因子對當前介質的測量進行修正。這樣就可簡化標定，同時正確選擇傳(chuan) 感器材質可確保毛細管傳(chuan) 感器適用於(yu) 腐蝕性氣體(ti) 。

    該傳(chuan) 感器的動態特性取決(jue) 於(yu) 不鏽鋼毛細管的管壁特性，它起著熱障的作用。的響應時間通常為(wei) 幾秒，適用於(yu) 大多數腐蝕性或毒性氣體(ti) 。