MEMS傳感器

    與(yu) 在主管中進行測量的在線式傳(chuan) 感器不用，MEMS傳(chuan) 感器是在旁路管道中進行測量的。主管道中的層流元件產(chan) 生一個(ge) 必須的壓差，使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內(nei) 璧上裝有帶膜的矽芯片，用於(yu) 測量流量。采用MEMS傳(chuan) 感器技術，在這塊膜上有一個(ge) 加熱電阻和兩(liang) 個(ge) 對稱的溫度傳(chuan) 感器（分別位於(yu) 上遊和下遊）。如使加熱電阻保持在一個(ge) 恒定溫度，則兩(liang) 個(ge) 溫度傳(chuan) 感器的電壓差即可用於(yu) 測量旁路通道內(nei) 流過芯片的氣體(ti) 的質量流量。在該溫度傳(chuan) 感器的熱量低、與(yu) 介質直接接觸，因此具有許多特定的優(you) 勢，其中之一就是對於(yu) 流量變化的響應極快。帶MEMS傳(chuan) 感器的MFC的響應時間隻有百毫秒，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。